张大妈

ASML延长低NA EUV服役至2031年,芯片厂获五年缓冲期推进2nm量产

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05-17 13:51

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精选参考来源

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2. ASML将低NA EUV生命周期延长至2031年 同步加速高NA量产

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12. 英特尔首台High NA EUV光刻机完成安装

13. ASML-以高数值孔径(High-NA)为核心,开启半导体单曝光时代

14. High-NA EUV介绍

15. 英特尔安装首台High NA EUV光刻机

16. High-NA EUV 到底改变了什么?

17. EUV之后,没有下一个EUV——ASML的问题,不是技术,而是节奏

18. ASML CEO:预计High NA EUV光刻机2027~2028年用于大规模量产

19. 台积电为何不采用High-NA EUV光刻机

20. High NA EUV商业化:难在哪里?

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