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3件真事、2个传闻、1条旧闻:上海微电子的8月光刻机热点全核实

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14:49

最近两周,光刻机的消息特别密,上海微电子被放在大多数标题的正中间。但我把微博、知乎、B站和财经平台上的讨论并排看了一遍,发现信息是混着来的:真订单、两年前的旧目录、借壳传闻、良率传闻全搅在一起。对这条赛道有兴趣的话,先把"事实"和"叙事"分开,比追任何一条热点都重要。我逐条核了一遍,结果如下。

先说清楚三家公司,很多人一上来就搞混

讨论上海微电子之前,得先分清三个名字,因为最近一半的误读都来自这里。

第一家是上海微电子(SMEE)母公司:2002 年成立于张江,如今是国内唯一具备前道光刻机整机研发与产业化能力的企业,没上市,也不披露经营数据。知乎官方口径能量产的是 SSA600 系列,覆盖 90nm 及以上,主要用在封装、面板这些泛半导体场景;2022 年 12 月,公司被美国商务部列入实体清单,关键进口部件通道进一步收窄。知乎

第二家是芯上微装(AMIES):2025 年 2 月才成立,是从上海微电子装备体系中分拆出来、承接先进封装和泛半导体光刻这些成熟业务的独立公司。知乎去年 8 月 8 日,它刚办完第 500 台步进光刻机的交付仪式,交付对象是全球领先的晶圆级先进封测企业盛合晶微。微博今年 1 月,它又以 2.285 亿元收购了上海微电子旗下全资子公司威耀实业 100% 股权,上海微电子退出股东行列。微博两家公司的资产边界,正在越切越清楚。

第三家是芯碁微装:完全不同的公司。它已经上了科创板,做的是激光直接成像(直写光刻),主要面向 PCB 和先进封装场景。很多"光刻机概念股"的讨论帖里,芯碁、芯上、上海微电子三个名字混着打,看的时候留个心眼。

再说格局:上海微电子正在推进"研发与产业化分离"的重组,核心资产拆分为三大板块——母公司继续攻坚最硬的前道,宇量昇承接前道 DUV,芯上微装承接封装等成熟产业化业务。微博

3件真事、2个传闻、1条旧闻:上海微电子的8月光刻机热点全核实

8 月的"大新闻",逐条核实

真事一:芯上微装 AST6200 拿到批量重复订单。 8 月 8 日,芯上微装宣布,自研的 350nm 步进投影光刻机 AST6200 通过了国内化合物半导体头部客户的全流程工艺验证,拿到批量重复采购订单,从研发落地走向商业化批量交付。微博但要划重点:这台设备支持 2 到 8 英寸衬底。知乎它面向的是碳化硅、氮化镓功率器件、射频前端、Micro LED 这些"超越摩尔"的场景,软件系统 100% 自主可控——它不是做手机 SoC 的那种前道光刻机。热度可以收,但别理解成"国产 7nm 光刻机大卖",那是两条完全不同的赛道。

真事二,但要会读:光刻机供应链的中报预告。 8 月中旬的供应链中报预告汇总里,光刻机精密结构件龙头上半年净利最高预增 1122%。知乎同一口径下,精密光学最高预增 105%,真空系统与静电吸盘配套最高预增 121%,直写光刻设备机构预判全年最高增长 94%。背后的逻辑是:28nm 浸没式 DUV 在持续迭代交付,上游光源、光学、腔体、结构件的国产认证节奏明显加快。但预告和兑现是两回事,行业叙事热的时候,单家公司的业绩波动往往被忽略。

旧闻:工信部推广"分辨率≤65nm、套刻≤8nm"的国产光刻机。 这条 8 月在知乎重新冒出来又刷了一轮屏,但它的源头其实是 2024 年 9 月 9 日工信部印发的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024 年版)》(工信部重装函〔2024〕254 号)。微博目录收录了氟化氪(KrF)和氟化氩(ArF)两款光刻机,其中 ArF 光刻机分辨率 65nm。微博这个目录每隔一段时间就被翻出来重新炒一轮,如果你把它当成了 8 月的新政策,那就误会了。

传闻一:“上海微电子借壳上市成功,目标价 92 元”。 这类内容从 6 月起就在 B站、股吧里流传,有的还做成了分析视频。哔哩哔哩事实层面恰恰相反:2024 年 10 月,上海微电子已经主动撤回母公司 IPO 辅导备案,现在的资本路径是"两条腿"——把商业化成熟的先进封装、泛半导体光刻业务拆给芯上微装独立冲科创板,母公司保留 28nm 前道和下一代光刻机研发,由大基金三期和地方国资继续增资托底。知乎按媒体整理的股权结构表,芯上微装的第一大股东是员工持股平台芯上威,持股 24.49%,其后是国资泰力产业 16.33%、张江浩成 14.20%,是典型的为 IPO 准备的架构。

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借壳这个故事,从 2025 年炒到现在没有一个落地实据,看到"押中壳股"的话术直接划走就行。

传闻二:“国产 28nm 光刻机首批交付,良率 90%”。 这是 6 月起自媒体流传的说法,原话是"国产 28nm 光刻机交付,上海微电子完成首批交付,良率达 90%"。微博上海微电子从未官方证实。这家公司不披露经营数据,恰恰是各种"突破文学"最容易滋生的地方——反过来,这也是为什么判断它的进度只能靠可核验的信号,而不是情绪。

这个安排说明了什么

一句话:成熟的归市场,最硬的归国家。把能赚钱的封装、泛半导体业务拆出去独立上市,把最难、最涉密的前道光刻留在母体内用长线国资托底——这是光刻机这种二十年周期生意的现实解法。这里说的"成熟"有多成熟?上海微电子的先进封装光刻机已经做到全球市占率约 35%、国内市占率约 90%。微博官网上的 SSB520/10 这类机型,就是已经批量服役的产品线。

3件真事、2个传闻、1条旧闻:上海微电子的8月光刻机热点全核实

对关注者来说,这意味着两件事。第一,上海微电子母公司本身的进度,在很长时间内都是"不可直接验证"的——ASML 有财报、有订单、有全球供应链可以交叉核对,而上海微电子现阶段能核验的只有官方发布,信息差本身就是风险的一部分。第二,别用股市叙事的速度去估研发的速度。高盛在 2025 年 9 月的研报里说,国产光刻机目前处于 65nm 阶段,“相当于 ASML 20 年前的水平”。知乎这话不好听,但和"明年突破"的亢奋一样,都不该影响你对信号的判断。

接下来盯三个信号就够了

与其追问"它到了哪一步",不如盯住可观察的信号:官方口径的新机型发布、头部晶圆厂的国产整机进产线验证、以及配套链上市公司的订单披露——信号出现之前,所有时间表都是文学。知乎其实可核验的信号一直在出现。去年 12 月 25 日,中国政府采购网挂出步进扫描式光刻机成交公告,供应商是上海微电子装备(集团),成交金额 10999.985 万元。微博

3件真事、2个传闻、1条旧闻:上海微电子的8月光刻机热点全核实

这类公告,就是比传闻诚实得多的东西。

  1. 芯上微装的 IPO 节点:辅导验收、申报受理、招股书。招股书一旦挂出来,上海微电子系成熟业务的财务切面第一次可以被验证,这是离"真相"最近的一份文件。

  2. 母公司官方动作:新机型发布、头部晶圆厂产线验证。今年秋季的上海工博会是个现成的观察窗口。

  3. 供应链上市公司的订单披露:光学、结构件、光源这些零部件环节跑在整机前面,它们的订单节奏比整机的传闻诚实得多。

最后一句话总结:这条赛道上,"别轻信也别泄气"不是鸡汤,是具体操作——信订单、信公告、信招股书,别信目标价。本文只是梳理公开信息,不构成任何投资建议。

内容由AI生成

精选参考来源

1. 「中国芯系列文章六」一台机器上的国家意志:上海微电子与ASML

2. 国产光刻机,拿下批量订单!

3. 上海微电子正推进"研发与产业化分离"的重组,核心资产拆分为三大板块。图1芯上微装虽然成立仅数月,但承接了上海微电子成熟的封装光刻机业务,产业化能力迅速释放: • 2025年8月8日:举办第500台步进光刻机交付仪式,交付对象为盛合晶微半导体(全球领先的晶圆级先进封测企业) • 2025年11月25日:首台350nm步进光刻机(AST6200)完成出厂调试与验收,发往客户现场 • 先进封装光刻机:全球市占率约35%,国内市占率约90%,可满足WLCSP、FOWLP、2.5D/3D等先进封装需求 • 其他产品线:激光退火设备、前道晶圆缺陷检测设备、LED光刻机、化合物半导体光刻机等芯上微装拟独立IPO,目前处于IPO筹备阶段,具体时间表如下: • 科创板路径:预期2026年启动、2027年落地。由于公司2025年2月才成立,科创板要求企业成立满一定年限并满足财务指标,预计需要更长时间准备 • 港股路径:有市场分析认为可能优先考虑港股上市,节奏更快 • 资产净化:2026年初,芯上微装以2.285亿元收购上海微电子旗下威耀实业100%股权,随后上海微电子退出威耀实业股东行列。这一"去芜存菁"动作被视为清理非核心资产、为IPO扫清障碍的关键步骤。合规:涉及公司不作为交易指导和推荐。

4. 【芯上微装收购上海微电子旗下威耀实业】工商信息显示,近日,上海威耀实业有限公司发生工商变更,上海微电子装备(集团)股份有限公司退出股东,新增上海芯上微装科技股份有限公司为全资股东,认缴出资额2.285亿元。值得注意的是,本次收购方芯上微装成立于2025年2月,是从上海微电子分拆后单独成立的公司。其主要股东与上海微电子相似度高,且核心人员及技术资产来自上海微电子,业务定位能够快速实现市场化的设备,而上海微电子则将专注前道核心设备开发。对于上述情况,有业内人士向《科创板日报》记者分析认为,“芯上微装收购威耀实业,核心目的或在于整合上海微电子旗下相关资产,聚焦半导体装备核心业务的产业化落地。”

5. 【为第三代半导体产业而生!国产光刻机获行业头部客户重复订单:已获验证 可大规模使用了】8月10日消息,国产光刻设备赛道传来重磅利好突破。上海芯上微装科技股份有限公司正式对外宣布,近日公司自主研发的350nm步进投影光刻机(AST6200),已经顺利通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证,并且拿到了批量重复采购订单,正式从研发落地阶段走向商业化批量交付。早在2025年11月,这家企业自主研发的首台350nm步进光刻机AST6200就完成了全部出厂调试与验收流程,正式启程发往合作客户的生产现场。很多人第一时间会把这台设备和传统硅基芯片的先进制程光刻对标竞争,但实际上它的研发定位完全不同,是专门针对碳化硅、砷化镓等化合物半导体生产场景量身定制的产品,主要服务下游新能源汽车、5G通信、光电子等高增长热门产业,精准踩中了国内第三代半导体产业快速扩张的刚需缺口。核心工艺参数层面,AST6200光刻机搭载了自研高性能投影物镜与先进可调照明模式,可以稳定实现350nm精度的高分辨率精细图案化加工能力,全面适配硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟、蓝宝石等几乎所有主流衬底材料的光刻生产需求。它搭载的高精度对准系统,能保障多层图形之间的精准套刻精度,大幅提升最终器件的生产良率。同时这台设备还通过采用高照度光源、高速基底传输系统以及高动态运动台配置,显著提升了单位时间内的晶圆产出效率,可以实实在在帮助下游客户降低单颗芯片的综合拥有成本,大幅摊薄生产端的长期投入。它的工艺适配能力极强,AST6200光刻机搭载的创新调焦调平系统,能够稳定测量透明、半透明、不透明以及大台阶等各类特殊基底,哪怕面对复杂衬底工况也能保证曝光质量完全达标。额外新增的平边对准和背面对准模块,可以满足特殊基底晶向解理和键合片对位等复杂制程的特殊需求。这款设备还支持从2英寸到8英寸的全多种规格基片,同时兼容平边、双平边、Notch等所有主流基底类型,真正实现一机多用的灵活效果,给客户后续产线的产品切换带来了极大的操作空间,不用为不同尺寸的产线重复购置专属光刻设备。最值得一提的是,AST6200光刻机搭载的是芯上微装完全自主研发的全栈式软件控制系统,从底层硬件驱动到上层工艺管理逻辑,实现了100%自主可控。这套原生自研系统具备极强的工艺扩展能力和远程运维功能,可以在设备全生命周期里持续迭代升级赋能,帮助下游客户实现更智能化、更高效率的产线运营。工信部早在2024年就把氟化氩光刻机列入了首台套重大技术装备目录,这类设备采用193nm光源,可以支持55nm制程的硅基芯片生产,而芯上微装推出的这款350nm光刻机,选择聚焦化合物半导体这个差异化细分赛道,主动避开和国际头部光刻巨头在先进硅基制程领域的正面竞争,走了一条更贴合国内产业刚需的差异化突围路线。业内都清楚,半导体类高端生产设备,都需要和下游产线经过长期磨合迭代,才能最终实现稳定量产落地。这次拿到批量订单的AST6200光刻机首个合作客户,是国内头部碳化硅器件制造商,这款设备接下来就会正式投入其功率芯片试产线的日常生产环节,为国产第三代半导体产能扩张提供核心装备支撑。(来源:快科技)

6. 100%自主可控!又一国产光刻机公司斩获头部批量订单

7. 光刻机国产化加速突围!最高预增 1122%,四大核心零部件订单集中释放

8. 【梅新育:中秋佳节前夕祝贺国产光刻机突破】9月9日,工信部低调发布《工业和信息化部关于印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》的通知(工信部重装函〔2024〕254号)》,目录2.1项为“集成电路生产装备”,其中2.1.5、2.1.6分别为氟化氪光刻机和氟化氩光刻机,套刻分别小于等于25纳米、8纳米。好!从2019年美国全面制裁华为起,5年时间,国产光刻机取得了第一步突破。八纳米已经来了,三纳米还会远吗?中秋佳音,此为第一;愿与拜登、哈里斯、南希·佩洛西、特朗普、卢比奥、乔什·霍利(Josh Hawley)……等诸君举杯共庆。

9. #光刻机# #a股# 光刻机,官宣了!假期讨论最多的一个事件:9月9日,工信部发布了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》,国产KrF氟化氪光刻机(照明波长248nm、分辨率110nm)以及ArF氟化氩光刻机(照明波长193nm、分辨率65nm)列于其中。1. 关于事件发布时间,不是假期新发的,而是一周前发的,这是被踩得比较多的一点。但实际上,在A股市场,经常有题材不是在消息出来的第一时间炒作,而是在市场“认知到这个事件重要的时候”开始炒作,比如最近的一波“华为海思”,发布会早就预告了。增量信息时间是重要,但不是板块上涨的决定性因素,事件本身和市场的认知才是关键。2. 这次的光刻机属于中端,在被纳入推广名单之后,将迅速开启全面国产替代。光刻机按性能(光源波长和支持的工艺节点)分类:一代-紫外光源UV光刻机:使用g线(436nm)和i线(365nm)光源,适用于较早期的集成电路制造。二代-深紫外DUV光刻机:引入了KrF(248nm)和ArF(193nm)准分子激光光源,分辨率更高,支持更小的特征尺寸。三代-浸没式DUV光刻机:在ArF光源的基础上,通过使用浸没液体(如水)来降低等效波长,提高分辨率,支持45nm及以下工艺节点。四代-极紫外EUV光刻机:使用13.5nm波长的光源,能够实现更高的分辨率,支持7nm及以下工艺节点,是当前最先进的光刻技术。五代-高数值孔径(High-NA)EUV光刻机:正在研发中,旨在通过提高光学系统的数值孔径(NA)来进一步提升分辨率和成像质量。目前高端主要是指能一次曝光生产28nm以上芯片的光刻机,也就是三代、四代光刻机,生产7nm手机芯片就要用到这些光刻机,而这次进入目录的是二代光刻机,属于中端,尽管不能用来生产比如华为手机现在用的7nm芯片,但依然有较高的商业价值,二代光刻机依然占据超过一半的销量份额,并且这次的ArF光刻机能够支持更先进的工艺节点,通过多重曝光也能实现28nm。另外最重要的是,进入推广目录就意味着国产链条已经完全打通,这一块的进口份额将迅速清零,完全实现全国产。3. 信号意义重大,标志着国产先进光刻机进入落地阶段,提升了国产光刻机的预期。首先,在此之前仍然有部分声音认为国内别说EUV了,连DUV光刻机都造不出来,现在推广目录的落地彻底打破“国内造不出光刻机”的刻板论调,这次的二代光刻机就是很好的开始,起步不低。其次,国内核心项目通常都是公示一代、测试一代、预研一代,能公示二代,说明三代、四代都在规划研发中了,上周讨论的发明专利公示就是关于EUV(极紫外线)光刻机的光源的,也就是四代光刻机。最后值得一提的是,上周刚刚解读过,近期光刻机外部事件比较多,尤其是荷兰跟进美国对光刻机出口施加进一步限制,这个时候发布推广目录可能也有其他的考虑,光刻机的国产替代更坚定了。光刻机受益公司:(一)整机(1)张江高科:通过全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子14.21%股权(2)上海电气:母公司为上海微电子第一大股东;(3)东方明珠:通过间接持股上海微电子;(4)奥普光电:长春光机所为公司实际控制人,长春光机所生产光刻机。(二)光源(1)波长光电:光刻机平行光源系统;(2)茂莱光学:精密光学器件已应用于国产光刻机;(3)福晶科技:全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商。(三)光学器件(1)腾景科技:多波段合分束器已进入微电子供应链;(2)苏大维格:向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品;(3)炬光科技:提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器;(4)京华激光:控股国外公司在光刻机微结构光学方面实力较强;(5)晶方科技:下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。(四)洁净设备(1)蓝英装备:精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户;(2)美埃科技:提供最高洁净等级标准的设备,国外企业供应商白名单;(3)国林科技:产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。(五)温控(1)海立股份:微电子装备集团的系统级合作商(2)同飞股份:液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制

10. 上海微电子成功借壳上市现价5.7目标92元将爆百年难遇行情!

11. 上海微电子融资之路:国资长线托举,中国光刻机攻坚资本长征

12. 国产28nm光刻机交付,上海微电子完成首批交付,良率达90%。 今日知识面的微博视频

13. 如何看待国家工信部推广分辨率≤65nm、套刻≤8nm 的国产光刻机?

14. 上海微电子1.1亿中标的光刻机,这是非常成熟的商用产品。上海微电子多年坚守,成为芯片设备重要的企业,今天随着多家光刻机企业的入局,未来这个领域是多企业竞争,也给芯片生产企业提供了多种选择。这几天分析罗永浩,都影响我说信息产业了,明天发一篇,以后还是聚焦一下产业。

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