EUV镜头靠8个工匠手工磨出来?蔡司真正的护城河不在人

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13:07

蔡司,除了镜头、防控镜片和手机联名,还有一个很少被聊起的身份:ASML背后那个"掐着命脉的供货商"。11月以来,B站上拆解EUV光刻机八大模块的系列视频正在热播。蔡司半导体部门那句"中国还差15年"的表态也吵了两个月。今天把这里面的真与假,一次摆清楚。哔哩哔哩微博

EUV镜头靠8个工匠手工磨出来?蔡司真正的护城河不在人

先辟谣流传最广的一个说法:"EUV镜头是全世界8个工匠手工磨出来的。"这说法已经在社交平台上流传了好几年。但方向从一开始就错了:EUV根本不用"透镜",用的是镜子。蔡司要在镜面上像砌砖一样交替堆叠钼和硅,最多100层,每层厚度误差控制在0.025纳米以内;最终镜子的面形精度0.12纳米、表面粗糙度20皮米——把这块镜子放大到地球那么大,表面只允许有一根头发丝那么高的凸起。这不是打磨,是原子级的建造,眼下全球能造出这东西的,只有蔡司一家。没有任何一双手能磨到皮米级,这是设备干的活。微博知乎

一台EUV,按ASML官方口径要40个货运集装箱、3架货机、20辆卡车才运得动,但箱子里最金贵的,就是那套"镜子"。ASML比谁都懂这一点:十几年前直接砸了约10亿欧元,买下蔡司半导体约四分之一的股权,把两家公司绑成利益共同体。蔡司的EUV镜头不对外销售、只供ASML,日本尼康、佳能的高端设备也得来找它进货。这个部门8500多人,攥着1500多项专利,光伺候EUV的就有2000人。哔哩哔哩知乎微博

EUV镜头靠8个工匠手工磨出来?蔡司真正的护城河不在人

说出那句争议言论的正是这家公司。今年9月,蔡司半导体部门负责人罗蒙德接受彭博社访问时说,中国可能需要15年才能研发出EUV光刻机,这是个"合理的估计",但他同时补了一句:由于相关技术进展难以量化,目前很难准确判断中国的实际水平。这边话音未落,项立刚那边直接开怼:作为一个镜片加工公司,蔡司做的不过是芯片设备极小的一部分,对芯片设备产业并不了解。两边其实没吵到一个点上:蔡司手里的尺子量的是光学系统这一层,国产EUV光学目前还处于研究阶段,这是硬事实;但芯片设备从来不只是镜片。微博微博微博

EUV镜头靠8个工匠手工磨出来?蔡司真正的护城河不在人

看完这轮拆解,真正的干货是一条高赞评论说破的"要求极端,不是一个方面极端,是各个方面都很极端"。磨好一片镜片是手艺,把几十片光学元件拢成一套系统、十年如一日稳定量产是体系——这才是蔡司180年护城河的真实形状。好消息是,国产光学的突破口也想明白了一件事:不硬闯物镜主峰,先从外围环节做单点验证。茂莱光学给KrF光刻机照明系统做的高精度镜片,已通过客户实际验证。永新光学把国产共聚焦显微镜的价格,打到了进口货的一半。哔哩哔哩知乎知乎

EUV镜头靠8个工匠手工磨出来?蔡司真正的护城河不在人

下次再听到"蔡司",除了清晰度和镀膜,记得还有这层身份:业内有个被反复引用的说法,全球约90%的芯片制造,都依赖蔡司提供的光学元件。它不只是一门好生意,还是一只真正伸进芯片内部的眼睛。知乎

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