欧洲第一次有了自己的EUV生产线

EUV 极紫外光刻机虽然出自欧洲的荷兰，但是欧洲一直没有自己的EUV生产线。

当地时间9月29日，位于爱尔兰莱克斯利普（Lexilip）附近的Intel Fab 34晶圆厂，正式开始使用EVU光刻工艺大规模量产生产Intel 4工艺的Meteor Lake处理器，也就是酷睿Ultra.

Intel CEO 帕特•基辛格、技术开发总经理 Ann Kelleher 博士、首席全球运营官 Keyvan Esfarjani将参加开工仪式。

这是美国本土俄勒冈州Fab D1之后，Intel第二座量产Intel 4 EUV 工艺的晶圆厂，也是欧洲第一次有了自己的EUV生产线。

据了解，2022年4月，英特尔Fab 34晶圆厂完成了第一套EUV微影曝光设备的安装，这是欧洲首座具备EUV光刻技术的晶圆厂。

大约有100多名ASML工程师到了Fab 34晶圆厂协助安装，同时英特尔从美国派来了工程师，负责培训Fab 34晶圆厂的员工如何使用EUV微影曝光设备机。

之前，英特尔向ASML订购了多套EUV光刻设备，这其中的第一套就是安装在Fab 34晶圆厂。

Intel使用了所谓的“Copy Exactly！”（精准复制），将美国工厂的生产线百分百复刻到爱尔兰工厂，以提高良率、保证性能一致性。

Intel 4工艺也就是曾经的7nm，号称相比Intel 7（10nm ESF）在同等功耗下频率提升21.5%，同等频率下功耗降低40%，晶体管密度增加1倍，这其中很大的功劳都来自 EUV。