激光共聚焦显微镜产品概述

激光共聚焦显微镜的三重扫描方式解决“难以测量”的难题

　　可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。

　　纳米级分辨率

　　即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。

　　此外，如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。

　　连高度差较大的凹凸处和大范围区域也能测量

　　扫描区域50 mm见方。

　　凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。

　　只需一台设备，即可同时掌握整体形状和局部形状。

　　精确测量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。

　　适用于各种目标物的测量能力

　　MEMS │ 2 mm × 2 mm

　　提供：Matthieu Denoual 博士（GREYC/CNRS, ENSI de Caen,France）与东京大学研究生院三田吉郎研究室