2nm工艺志在必得 日本三大EUV光刻胶巨头巨资扩产

快科技11月3日消息，EUV工艺是5nm节点之后无法绕过的先进工艺，EUV光刻机只有荷兰ASML能产，但日本在EUV光刻胶领域很有优势，针对2nm及以下节点，日本三大化工巨头都在积极扩产。

日本半导体材料厂东京应化工业（Tokyo Ohka Kogyo）日前宣布，将在韩国平泽投资200亿日元，约合1.3亿美元建设光刻胶工厂，预计2030年正式投产。

平泽是三星、SK海力士等韩国半导体公司的重要生产基地，该工厂投产后应化工业在韩国的产能将翻三四倍，更好地满足客户需求。

此外，应化工业还会在韩国再投资120亿日元建设高纯度化学厂，同样会应用先进半导体工艺，此举被外界视为日本厂商积极扩产，提前部署2nm及更先进工艺的需求。

同样是EUV光刻胶巨头的JSR公司也会在韩国投资建设MOR型光刻胶工厂，而且明年底就会量产。

另一家百年老店Adeka阿德卡也将在日本投资扩产，花费32亿日元在日本建设MOR型光刻胶工厂，预计2028年4月份量产。

MOR型光刻胶以金属氧化物为基础，主要是为EUV光刻工艺而研发的，国内也在积极建设MOR光刻胶研发及生产线。

不过在半导体材料，尤其是光刻胶方面，日本公司长期占据世界91%以上的份额，虽然本土暂时没有2nm工艺芯片厂，但他们积极布局海外，对2nm及以下的先进工艺一样志在必得。

编辑：宪瑞

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