大全能源半导体级多晶硅项目首批产品顺利出炉

近日，大全能源半导体级多晶硅项目首批产品顺利出炉。内蒙古大全半导体有限公司总经理对新华财经表示，首批产品出炉表明半导体项目流程已完全打通，下一步将尽快完成质量爬坡和产品分级验证。

2021年，大全能源规划在内蒙古自治区包头市建设20万吨高纯多晶硅项目和2.1万吨半导体级硅基材料项目，预计总投资242.5亿元。其中，一期年产1000吨半导体级多晶硅项目占地约135亩，于2022年二季度正式开工，并在2023年9月成立内蒙古大全半导体有限公司进行独立运营。

半导体级多晶硅是集成电路硅晶圆上游的原材料，也是集成电路（半导体）制造产业的源头和基础，95%以上的半导体器件和集成电路是硅基材料制作的。当前，8英寸、12英寸晶圆用多晶硅主要用于超大规模集成电路，对于多晶硅产品杂质控制、晶体构型、稳定性等隐性指标要求极高，只有从设计之初进行工艺、技术、装备制造、工程建设、装置运行等综合性进行全盘考虑，并在各环节的过程控制上做到精益求精，才能够产出合格产品。

目前，国内半导体级多晶硅产品供应不足，12英寸直拉用多晶硅及8英寸区熔用多晶硅严重依赖进口，主要产能集中在美国Hemlock、德国Wacker、日本Tokuyama等企业。

“首批产品顺利出炉是大全技术创新和产业升级的重要成果，是质量体系和生产运营体系高度融合的结果，下一步我们将进入质量爬坡阶段，并尽快进行产品分级验证。近期已有国内外多家下游客户表达了合作意向，我们正在积极沟通过程中。”内蒙古大全半导体有限公司总经理表示。

集成电路电子特气也是大全半导体级多晶硅项目的副产品，得益于半导体级多晶硅项目的工艺特点，该项目生产的硅基电子特气具备更高的纯度。

据了解，根据大全能源现有净化提纯系统可直接制备年产6000吨电子级二氯二氢硅，并具备年产1000吨电子级硅烷气、40吨六氯乙硅烷、400吨电子级氯化氢能力。电子特气作为集成电路产业的“血液”，主要应用于外延生长、刻蚀清洗等环节，国内多家电子特气龙头企业也表达了与大全合作的意向。