张大妈

中微刻蚀机"做到3纳米",和普通人用的芯片到底有什么关系

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22:48

2026年10月22日,中微公司在官方公告里宣布了两件事:PrimoDomingo气相高选择性刻蚀设备全球首台机付运国内重要集成电路研发制造客户;以及公司刻蚀设备已全面覆盖从65纳米到3纳米及更先进工艺的刻蚀应用。 热搜标题里的"3纳米",说的就是这半句官方表述。界面新闻

先把结论说清楚:"做到3纳米"不是一台机器能刻出3纳米宽的线,而是中微的刻蚀设备从成熟制程一路做到了当前最先进制程所对应的工艺带。对普通人来说,这条新闻和你手里芯片的关系,藏在三件可感知的事上:内存与闪存的价格、设备里那些"不起眼芯片"的稳定供应,以及下一代手机芯片的国产制造链位置。

刻蚀机的"3纳米",和芯片的"3纳米"不是一回事

芯片制造里,光刻机先在光刻胶上画出图形,真正的线宽由曝光决定;刻蚀机则负责把图形变成实体,从光刻胶开口处移除下方薄膜,把二维图形转移成沟槽、接触孔、栅极或互连结构。 所以不存在"3纳米刻蚀机"这种型号划分,中微董事长兼总经理尹志尧在2024年8月的采访中专门纠正过这个概念:把刻蚀机说成5纳米机、3纳米机、14纳米机是错误的,同一套设计经过改进升级,从45纳米一直做到2纳米都没问题。知乎微博

刻蚀设备真正的考卷是"刻得准、停得住、伤得少":结构要刻得又深又窄,刻掉一层时几乎不能碰坏相邻材料,整片晶圆和不同批次之间还要高度均匀。按公司10月22日公告披露,其介质刻蚀深宽比达到60比1至90比1、硅刻蚀达到140比1,首创的双反应台ICP刻蚀技术精度已到0.2纳米的单原子水平。 这些是设备口径的数字,不是手机跑分,但它们正是进入3纳米级产线的入场券。知乎

最直接关系到钱包的,是内存和闪存的价格

手机、电脑和SSD里的存储芯片(3D NAND)早已不靠水平缩小涨容量,而是把数百层薄膜垂直堆起来,一次刻穿上百层且孔壁不能歪、不能塌——超高深宽比刻蚀正是存储扩产的瓶颈工序。2024年3月,中微在2023年度业绩说明会上披露,公司等离子体刻蚀设备"已应用于128层及以上的量产"。 这次付运的PrimoDomingo瞄准的是同一方向上更靠前的位置:GAA晶体管、3D NAND层数堆叠、3D DRAM垂直结构,都要求在极小空间内对不同材料做高精度选择性去除。界面新闻知乎

这轮官方表态恰好撞上一个涨价周期:闪迪11月实施年内第三次NAND涨价,幅度再达50%;三星第三季度DRAM平均售价环比上涨约20%,SK海力士认为存储供需紧张可能持续到2030年。 涨价压力已经传到整机环节,连苹果的利润也被存储成本明显侵蚀。东方财富网东方财富网36氪

把链条接起来看:国产存储厂扩产越顺,你买内存条、SSD和手机存储的供给端就越多一个变量;而刻蚀设备是扩产的约束条件之一。需要说明的是,这台新设备刚走到"首台付运",从送样、验证到批量导入产线仍需时间,它对普通消费者价格的实际影响要绑定国内存储厂的扩产节奏,眼下还谈不上立竿见影。

手机里大多数芯片,本来也用不上3纳米

一部手机里除了主SoC,数量庞大的电源管理、射频前端、显示驱动、图像传感器芯片,用的多是65纳米及以上的成熟制程。"65纳米到3纳米全覆盖"意味着一条设备平台贯穿这整条带宽:按公司披露,截至2026年6月底,中微累计超过8800个反应台已在国内外220余条生产线上量产。 尹志尧同场披露,公司绝大部分刻蚀设备的零部件已实现国产化。 落到使用语言就是:日常设备里这些"不起眼芯片"的国产产线,供应链上少了一个容易被卡的位置。知乎界面新闻

市场也在为这条逻辑买单:2026年三季报显示,中微前三季度营业收入103.26亿元、同比增长28.08%,归母净利润41.34亿元、同比增长241.31%,公司将其归因于先进逻辑和存储器件关键刻蚀工艺高端产品新增付运量显著提升。界面新闻

几条必须说清的边界

第一,"最先进产线"的官方口径始终没有点名客户。公司披露到"国际知名客户最先进生产线"为止,流传很广的"打入台积电3纳米供应链"说法,目前没有公司或客户层面的正式确认——"公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中若干关键步骤的加工"才是可追溯的原话。 而且"若干关键步骤"意味着刻蚀只是产线众多工序里的一环,单一设备商覆盖3纳米工艺,不等于国产链条已能独立量产3纳米芯片——那条链上最关键的缺口仍是光刻设备。界面新闻

第二,公司2026年工博会上提出的"未来五年覆盖约60%以上的高端半导体设备市场和70%以上的先进封装设备市场",是尹志尧公开阐述的计划而非既成结果。知乎

所以,"中微刻蚀机做到3纳米和普通人有什么关系"可以压缩成一句话:它不会改变你下一部手机的参数,但它让内存、存储、成熟制程芯片这些最影响你花钱的部分,扩产时少一道设备关卡,让3纳米及GAA这类下一代器件的制造链条里多一个国产席位。作为消费者,值得盯的信号很具体:这台首台设备在客户产线的验证进展,以及国内存储厂下一轮扩产的设备订单。

内容由AI生成

精选参考来源

1. 中微公司:首台高选择性刻蚀设备付运国内重要集成电路研发制造客户

2. 刻蚀机如何在纳米尺度“雕刻”?难点不是刻得快,而是只刻该刻的地方

3. 中微公司董事长、总经理尹志尧:从设备角度,说老实话,我没有看到(高端领域的)瓶颈。其实有很多人误解说我们做的刻蚀机,有做5纳米刻蚀机、3纳米刻蚀机、14纳米刻蚀机,这个是错误的概念,其实我们同样一个设计,当然有一些改进升级,是一直从45纳米一直做到2纳米都没问题。但有一些精化的过程。我...全文

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