【全球工厂】TSMC 台积电工厂天车AMSH系统探秘

全文概述

台积电的AMHS系统是其智慧高效的自动物料搬运系统，通过轨道、天车和仓储系统实现晶圆在超大晶圆厂内的高效运输。该系统每日搬运量可达200万次，相当于纽约地铁日载客量的16倍，覆盖面积达35.5万平方米。

AMHS系统的背景与重要性

随着集成电路产业的发展，晶圆制造过程日益复杂，需要更高效的物料搬运系统。台积电自成立以来，致力于成为全球逻辑集成电路产业的技术及产能提供者，并开发了AMHS系统以提升生产效率。

AMHS系统的发展历程

1987年，台积电成立首座6英寸晶圆厂时，所有晶圆传送及储存都靠人力完成。1993年，导入第一套AMHS系统，开始负责洁净室内区域之间的运送工作。2000年，台积电领先业界建置12英寸晶圆厂，进一步实现了自动化派工与传送。

AMHS系统的组成与运作

AMHS系统类似于地铁系统，主要由轨道、搬运晶圆盒的天车（OHTs）、制程站点和晶圆自动仓储构成。行车电脑监控轨道并智能控制各路口的交管运作，确保晶圆盒以最快速度抵达预定位置。

AMHS系统的应用与扩展

除了用于晶圆制造，台积电还将AMHS系统延伸至其他应用场域，如先进封装制程、原物料处理、厂务管理及成品出货等。通过天车与晶圆载具的机构调整及生产机台界面的标准化，新一代AMHS系统得以广泛应用，减少人因性危害并推动绿色制造。