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斥资约1.1亿元,ASML首座海外培训中心开始运营,帮助台积电提高3nm/5nm良率

2020-08-21 15:02:10 23点赞 16收藏 73评论

本文经快科技授权发布,原标题:斥资1亿 ASML首座海外培训中心开张:助台积电提高3nm/5nm良率,文章内容仅代表作者观点,与本站立场无关,未经允许请勿转载。

正如此前的报道,8月20日,光刻机巨头ASML(阿斯麦)在中国台湾南部科学园区启用了第一座全球培训中心(荷兰之外),主要服务亚洲客户。

斥资约1.1亿元,ASML首座海外培训中心开始运营,帮助台积电提高3nm/5nm良率

据悉,培训中心斥资新台币4.7亿(约合1.1亿元),建筑面积1625平米,目前有14名培训师。中心内有EUV实机模块,ASML提供全套且丰富的培训课程,主要辅导亚洲客户学习如何在洁净室内操作EUV光刻技术。

ASML初步计划每年提供数千小时的培训课程,培养内外EUV技术人员360名左右。

按照ASML的说法,从新手到独立操作EUV光刻技术,培养周期大约是18个月。受到疫情影响,基于荷兰本土的培训存在局限,新的训练中心将减少客户成本,并更安全地提供服务。

ASML台湾地区经理Mark Ting表示,2010年,公司向台积电交付了首台EUV光刻原型机,2017年,第一台面向量产的TWINSCAN NXE:3400光刻机交付给台积电。3年后的今天,中国台湾已经是全世界EUV光刻机安装量最大的地区。

出席揭幕活动的台积电先进制程副总经理王英郎表示,培训中心的启用将有助其提升5nm以下先进制程良率。

业内人士透露,台积电迄今已购买了30台EUV机器,每台成本超过1.2亿欧元(约9.8亿元),其中20多台用在了3nm/5nm生产线。

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