斥资约1.1亿元，ASML首座海外培训中心开始运营，帮助台积电提高3nm/5nm良率

正如此前的报道，8月20日，光刻机巨头ASML（阿斯麦）在中国台湾南部科学园区启用了第一座全球培训中心（荷兰之外），主要服务亚洲客户。

据悉，培训中心斥资新台币4.7亿（约合1.1亿元），建筑面积1625平米，目前有14名培训师。中心内有EUV实机模块，ASML提供全套且丰富的培训课程，主要辅导亚洲客户学习如何在洁净室内操作EUV光刻技术。

ASML初步计划每年提供数千小时的培训课程，培养内外EUV技术人员360名左右。

按照ASML的说法，从新手到独立操作EUV光刻技术，培养周期大约是18个月。受到疫情影响，基于荷兰本土的培训存在局限，新的训练中心将减少客户成本，并更安全地提供服务。

ASML台湾地区经理Mark Ting表示，2010年，公司向台积电交付了首台EUV光刻原型机，2017年，第一台面向量产的TWINSCAN NXE:3400光刻机交付给台积电。3年后的今天，中国台湾已经是全世界EUV光刻机安装量最大的地区。

出席揭幕活动的台积电先进制程副总经理王英郎表示，培训中心的启用将有助其提升5nm以下先进制程良率。

业内人士透露，台积电迄今已购买了30台EUV机器，每台成本超过1.2亿欧元（约9.8亿元），其中20多台用在了3nm/5nm生产线。

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