芯片里面长啥样?扫描电子显微镜放大10000倍告诉你!

2016-05-23 18:06:25 302点赞 358收藏 198评论

说来惭愧,张大妈应该算是一个消费指导网站。但是笔者这篇文章基本并没有涉及消费,而更像是一篇科普文章。所以还请感兴趣的童鞋们继续围观,对芯片内部结构不感兴趣的童鞋们请返回。

最近521的第一届值友节上,看到张大妈的CEO放PPT,提到了SMZDM有全世界最高品质的用户:值友,这个群体分布在全世界189个国家,其中83%以上的用户拥有本科以上学历,年均消费超过10000元。高于行业平均线3倍。

芯片里面长啥样?扫描电子显微镜放大10000倍告诉你!

一直以来感觉在张大妈发表文章,是一种不错的体验。毕竟受众的面很广,流量也非常大。每每文章发布,都能很快获得大量用户的评论,寻找到大量同好。这也是我发原创的最重要动力来源。

好了,言归正传吧。这次文章的主题是芯片内部的结构。所谓芯片,其实就是集成电路(IC,全称Integrated Circuit),其实就是通过光蚀刻等方法,将传统的电路集成到一片硅片上。

目前最新IC工艺早已进入纳米级(10的-9次方),也就是0.000000001米。例如英特尔的最新的工艺已经进入14nm,正逐步向10nm推进,而台积电和三星也早已开始了7nm工艺的预研。要想用显微镜看清这些产品的线路,那对显微镜的放大倍数有着极高的要求。没有几十万倍的放大倍率是做不到的,普通企业的实验室根本不可能做到。

因而本文所展示的这个78L05还距离纳米级别有一段距离。78L05是模拟功率器件,内部结构相对比较简单,线宽也比较大,应该说是属于微米级别的。因而用10000倍的扫描电子显微镜(SEM)就可以看得相当清楚了。只是想抛砖引玉,说明一下原理,毕竟半导体的原理基本都是相通的。

这篇文章其实也是源于笔者所在的公司最近做的一个故障分析项目(Failure Analysis),毕竟普通家庭不可能配备电子显微镜这种设备。笔者公司的实验室其实也只有一台5000倍的SEM。后面10000倍的那个扫描隧道显微镜的图片还是去其他单位的实验室照的。

好了,说了那么多,究竟是哪块芯片呢?其实就是一片SOP封装的78L05,8个pin。是主板上很常见的芯片,是一颗12V转5V的稳压块芯片。很多厂家都有做,比如ST(意法半导体)等等。至于这次分析的这片是哪个厂商的,因为涉及到品控,所以具体的不方便透露。78L05在电脑的主板上很常见,就是图中红框里的这片,只有小手指甲的一半大小:

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非常常见的元件,某宝上也很容易买到:

芯片里面长啥样?扫描电子显微镜放大10000倍告诉你!78L05 SOP_淘宝搜索s.taobao.com


某宝上的价格其实是零售价了,一般拿的量比较大的话,单颗的采购价大约是2美分左右,折合人民币0.13元。

网上随便找了张DATASHEET,这是PIN脚定义。比较简单,DC12V入5V出,然后供给下一步继续降压或者直接供电压输入是5V的芯片。

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先放在高倍光学显微镜下观察,放大倍率60倍:

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背面:

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使用强酸溶液将树脂外壳溶解,即Decap操作,当中的硅片露出来了。注意,硅片只占整个78L05中间很小的一部分:

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高倍光学显微镜下,进一步放大观察Die(裸片)。PIN脚的定义很容易理解了:一个输入,一个输出,4个是接地,还有2个NC:

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用X光检查是否有断线或折断:

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光学显微镜下,继续放大,可见3根铜线连接(bond)在裸片(die)上:

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3个BOND点的局部放大图,都正常:

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好了,光学显微镜的部分到此结束。接下来,进行SAT验证,产品正常,没有Delamination(分层),粉红色是产品过IR后因不同材料不同膨胀系数的自然现象,正常。

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接着,进行EMMI(Emission Micro Scope)比对(关于显微镜成像分析,具体可参考维基百科。经过微光显微镜验证,发现良品与不良品的现象相同,因而判断这片不良品的Chip并没有Crack的现象。

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于是,接下来轮到电子显微镜上场,来帮助厘清问题了。

晶片(Die)的侧面:

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晶片(Die)与底座接合处:

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硅片的正面(500倍):

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鸟瞰图(500倍) :

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将铜线的连接处,局部放大到5000倍,发现问题了:

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再放大到10000倍,看得更清楚了,发现了Crack(破裂):

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那么,良品应该是怎样的呢?如下图(5000倍):

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再放大到10000倍,良品是没有破裂的:

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至此,问题基本厘清了。接下来,就是依照产品的批号等信息,回溯到工厂产线上负责接线的设备和人员上了,距离root cause也就不远了。有值友可能会好奇,一个78L05,值得花费这么大的力气吗?其实,由于涉及到的量比较大,所以肯定是值得去分析的。

其实7805的单颗成本很低,但就是因为小零件出问题,导致整个系统就出大问题。故障分析的目的就是找出根本原因(root cause),杜绝问题再次出现。希望这篇文章,能够帮到大家了解到更微观的IC内部的世界!

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198评论

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  • 因为之前与这位作者有过若干交流,对他的文章相当熟悉。看到他今天下午短短几个小时内连续发了三篇文章,
    其中纸模型的那篇仅有的两张自己的照片家居环境与其之前晒单有天渊之别,心中存在很多疑问。总体建议是没必要为“生活家”的头衔这么拼,要是确实在乎,可以把我的蓝钻送你。(签字确认:New_Horizons)
    出于好意说这么多,如果作者就是为了给大家集中时间科普,认为我是以小人之心度君子之腹,那就收回上述评论,无需回复。

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    大哥,I服了U!你真的想多了,拍纸模型那图的时候,还是我家装修前。你没看到我写的纸模型是2012年就推出的吗?多谢关心... [偷笑]

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    所以你纸模型文章中仅有2张自己照的,其他都是从网上拷贝剪贴?
    所以你拆了一个早已没人用的PDA,还冠名为“本站首晒”?
    所以你为了凑合自己找的烟道热水器过时资料,用京东尚未完成安装的用户晒单当做证明你比人家“专业”的证据?

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  • 最怕FA了,尤其是做了半天FA找不到问题具体位置的FA。我们design就猜啊猜啊

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    别提了,为了这货前前后后折腾了两周... [喜极而泣]

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  • 英特尔FAB中机台甩國产40年 机台很重要。不做FA好多年了

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    除了光刻机甩三五年,其他的从供应商角度看和国内fab的都一样。只不过Intel有些设备做了些改装。

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    光刻机只有三五年差距么?

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  • 有种拿工作的报告骗金币的感觉,当然科普下挺好,每次跟别人讲半天做ic没人理解

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    我感觉这个文章就很好,如果你有你专业的文档可以和大家分享,你也可以发出来啊,感觉在这里并只是让大家消费和剁手的地方,有机会看到并了解到更多的东难道不好吗?

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    寓教于乐,挺好的。每个人的专业工作都可以拿来分享,因为那是你的专业。

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  • 我就知道评论区会有一群科研狗。。。。

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  • 有朋友说是分析(工作)报告,但这样的工作报告还请多发!涨姿势长见识。坐在井里,总想多看看这个世界。

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  • 以前总想用锤子敲开看 [喜极而泣]

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  • 原来芯片内部长这样,长见识了

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  • …这也行!下次去实验室给电缆照个然后拿来骗金币吧

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    看来是mini或者rs的电缆之类的

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  • 看着很牛掰的感觉,然并卵

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  • 好厉害的感觉,哈哈哈。不过我们蔡司的场发射电镜 [脸红] [脸红]

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  • 下次我来跟大家讲布局布线 [小眼睛]

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    预订座位 快来

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    这车必须要上啊! [邪恶] 你可不能跑了 [饥饿]

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  • 什么烂工艺也po出来,CMOS都不是,纳米级的片子流一沓了,po一些是不是也能过?

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  • 估计楼主是封测行业的

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  • TSOP封装一般分为:晶元背面研磨wafer back grinding,晶元切割wafer saw,晶片粘合die attach,金线键合bounding 以上属于前道FOL,封装moulding,一下属于后道EOL:trim 切筋,电镀plating ,激光印刷laser mark 成形:form 。AMKOR安靠封装测试公司后道maintenance

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  • 我们有一阵天天看chipwork的反向工程报告,比你这个好看多少倍,就这样还看吐了。。。天天上班看也就算了。。。你这个这么粗糙就别看了。。。

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  • 抄片。。。。。。。。

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  • 一直对这种图不是很明白,麻烦问下 ,为什么500倍图和5000倍图看到的范围差不多呢,我理解的是比如500倍图能看到叶子轮廓 5000倍图只能看到叶子的细胞了 麻烦大神解答 [无语]

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  • 中科院化学所有台5000万的蔡司,据说国内唯一一台,北大的第二台还没到货

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    化学所质谱中心也很牛的,中国第一台TOF

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    然后呢?不是工业界你买这么贵的做什么鬼?放在那里烧钱?国家的钱就是这么被败光的?

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  • [邪恶] 哥可是见过peem的男人哦 [装大款]

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