台积电技术升级！ASML最新款高NA EUV光刻机今年交付

ASML计划在今年向台积电交付其最新款的高数值孔径极紫外线（High-NA EUV）光刻机，这一消息已经得到了ASML发言人莫尼克·莫尔斯（Monique Mols）的确认。这款光刻机的单价高达3.8亿美元，并且ASML的首席财务官罗杰·达森（Roger Dassen）在分析师电话会议中提到，包括台积电和英特尔在内的两大客户都将在今年年底前收到这款光刻机。

英特尔已经下单购买了这款最新的光刻机，并于去年12月底将第一台机器运至其位于俄勒冈州的工厂。而台积电虽然之前对这款机器的价格表示了担忧，但目前看来已经改变观念，预计将在今年收到这款光刻机。

这款High-NA EUV光刻机的分辨率可以达到8纳米，是上一代设备的1.7分之一，将被用于生产支持人工智能应用和先进消费电子的芯片。此外，ASML是全球唯一的极紫外线光刻技术制造商，其产品需求被视为该行业发展的晴雨表。

尽管台积电曾对这款机器的价格表示担忧，但包括亚纳丹·梅农(Janardan Menon)等分析师预计，台积电将在2028年的A14节点技术中采用这款光刻机。英特尔则计划在2024年上半年量产Intel 20A制程，下半年将量产更先进的Intel 18A制程。

ASML的股价在这一消息发布后上涨了9.52%，至1041.34美元，今年以来累计上涨约35%。英特尔已经宣布购买了5台这种设备，用于在2025年生产Intel 18A芯片。这款High-NA EUV光刻机的体积巨大，重量相当于两架空客A320飞机，组装后的设备将比卡车还要大。

总体来看，ASML向台积电交付高NA EUV光刻机的计划已经明确，这将对两家公司以及整个半导体行业产生重要影响。