像素级光刻!科学家造出超高分辨率微型OLED:只有变形虫大小

像素级光刻!科学家造出超高分辨率微型OLED:只有变形虫大小

2026-09-23 16:52:35 0点赞 0收藏 0评论

科技9月23日消息,苏黎世联邦理工学院(ETH Zurich)的研究团队近日宣布,已成功开发出一种利用芯片制造工艺生产微型OLED像素的新技术。

该技术借鉴了半导体行业通用的光刻法,通过紫外线直接在基板上打印出发光结构,为超微型增强现实显示器的量产开辟了新路径。

像素级光刻!科学家造出超高分辨率微型OLED:只有变形虫大小

长期以来,OLED的微型化一直受限于材料兼容性问题,光刻工艺虽然精度极高,但其使用的强力溶剂和化学试剂会迅速破坏脆弱的有机发光分子。

因此有机材料的活性很难在半导体制造的严苛化学环境中存活,这导致超高像素密度的微缩显示器研发长期停滞。

为了攻克这一难题,瑞士研究人员设计了一种具备“核-壳”结构的特殊聚合物。在这种分子架构中,发光核心被包裹在保护壳内,外层则布满了对紫外线敏感的化学链。

当紫外线照射时,分子外层会发生交联反应形成坚固结构,而内部的发光核心则在保护壳的遮蔽下免受化学侵蚀,从而实现了芯片级的加工精度。

像素级光刻!科学家造出超高分辨率微型OLED:只有变形虫大小

在技术演示中,研究团队制作了一张彩色鹦鹉图像,其整体尺寸仅为300×430微米,大小与阿米巴原虫相当。该图像由250×350个微型像素组成,是目前已知通过光刻工艺制造的分辨率最高的全彩有机结构。

除了静态图像展示,团队还制造了一个尺寸为1×2.4毫米的可通电电控LOGO原型。与由外部光源激发的鹦鹉图像不同,该原型具备初步的电路控制能力,预示着真正的电驱动微型显示器已进入实验室验证阶段。

编辑:青山

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