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ASML计划提高光刻机价格：包括EUV和DUV系统，台积电表示抵制
2026-07-22 22:15:14
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近日ASML（阿斯麦）公布了2026年第二季度财报，主要财务指标均高于上一季度给出的指引。ASML在2026年上半年的订单依然强劲，为此上调了全年净销售额和毛利率。另外ASML计划2027年EUV与DUV光刻机的产能在2026年约65/130台基础上增加30%，另外还会研究2028年产能再增加30%，并继续大幅扩展升级业务组合。
据TrendForce报道，ASML正在寻求提高芯片制造设备的价格，不但包括先进的EUV，还有相对旧一些的DUV。这种做法也遭到了部分客户的反对，比如台积电（TSMC）就表示抵制，而部分中国大陆客户已经同意ASML将DUV系统的定价提高10%。
目前最新的High-NA EUV光刻机售价高达4亿美元，让台积电对这项投资持谨慎态度。截至2029年的路线图，台积电没有任何涉及使用High-NA EUV光刻机的技术，即便是路线图上最先进的A13和A12。相比之下，英特尔要积极得多，与台积电的做法形成了鲜明的对比。ASML已经官宣英特尔的Intel 18A生产线已完成High-NA EUV双重认证，用于大规模生产，良品率达到了现有NXE EUV平台的水平。
据了解，ASML的EUV产能满载，至2027年末的订单已经排满。在ASML看来，旗下部分产品的价格仍有上调空间。ASML首席财务官Roger Dassen表示，强劲的需求增强了公司的定价能力，赋予了更大的灵活性，为进一步涨价留有充足空间。
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