半导体巨头EUV光刻机数量曝光：台积电唯一过百 日本2nm公司醒目

快科技9月29日消息，半导体工艺越先进，对光刻机的需求就越高，5nm以下量产更少不了EUV光刻机，目前全球只有ASML公司能供应，台积电、三星、Intel等公司都会向他们下降。

那么这些巨头中谁拥有的EUV光刻机最多呢？调研机构BOFA公布了2021到2025年为止的EUV光刻机数量，如下所示：

作为全球最大同时先进工艺量产最多的晶圆代工厂，台积电这几年来购买的EUV光刻机数量是最多的，除了24年只有10台之外，平均每年都在25台左右，累积下来已经超过107台，是唯一一家数量过百的。

三星从7nm时代就号称首发量产EUV工艺，所以购买量也不低，除了今年只有3台，以往每年在10-15台，累积下来55台，位列第二。

三星不仅在逻辑工艺上使用EUV光刻机，内存芯片上也逐渐用上EUV光刻机，这也是关键因素。

SK海力士之前三年订购的EUV都很少，这两年爆发了一波，总计有26台。

Intel公司之前对EUV不慎积极，但在Intel 4工艺之后也开始应用EUV光刻工艺，前任CEO基辛格搞的IDM 2.0甚至加大了对下一代High NA EUV光刻机的购买，全球第一个下单出货，但现在的陈立武叫停了不少工厂建设，今年EUV采购量还是0。

累积下来这几年购买了25台EUV光刻机，比SK海力士还少1台。

美光公司因为主要生产内存和闪存芯片，而且对之前也用不到EUV工艺，今年才买了5台，总量就是这么多了。

这里面还有一家公司值得注意，那就是日本Rapidus，他们成立才2年时间，但野心很大，目标是2027年量产2nm工艺，所以也早早下单了EUV光刻机用于研发，今年就展示过2nm工艺的晶圆，技术进展值得关注。

如果他们的目标实现了，未来Rapidus公司对EUV光刻机的需求量也不少。

编辑：宪瑞

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