国产EUV光源样机亮相，不意味着光刻机封锁已被突破，而是首次有一套国产化率90%的供应链，把高端光刻机这颗"心脏"完整造了出来、能点亮、能用于芯片曝光测试——按展台方自己的口径，距离量产还有3到5年。它证明的不是"追平"，而是"路径走通"。
第二十六届中国国际工业博览会上，一台极紫外（EUV）光源系统样机亮相创新科技馆，带来它的是一家上海公司——朗道燧岩。这台样机的国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试，也是目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机，被称作高端光刻机的「心脏」。知乎微博
极紫外光源是7纳米及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，长期受海外技术垄断与禁运限制，是制约我国高端芯片自主可控的关键环节。但亮相不等于量产，“国产化"也不等于"性能领先”——现场工作人员明确说，该光源系统距离量产仍需3至5年。微博知乎
为什么光源是光刻机的"心脏"
极紫外光波长只有13.5纳米，科学家最终选定这个波长，是因为借助Mo/Si多层膜堆叠技术，可以在这个波段实现接近70%的反射率——EUV会被包括空气在内的几乎所有材料吸收，透镜毫无用处，整条光路必须在真空里靠反射镜一次次折转，而每一次反射都会损失三成左右。知乎
目前商用的主流方案是LPP——激光等离子体：用高功率激光去轰击下落的锡微滴，激发出13.5纳米波长的极紫外光。光源既是整机里功率最大、也是损耗最狠的子系统，要稳定地朝同一位置每秒钟轰击数万滴锡珠并连续运转数千小时，这正是它被称为"心脏"、也是长期被禁运卡住的原因。知乎
样机背后：两年时间，中芯聚源入局
样机背后的公司非常年轻：朗道燧岩成立于2024年8月，一开始在南京注册创立，后更名为朗道燧岩（上海）科技有限公司并迁址上海张江，至今刚满两年。知乎
创始人王豪是清华大学电机系博士，多年研究气体放电等离子体，公司的技术底座正来自清华电机系的等离子体实验室；2025年4月，团队在张江高科895创业营夺得头名，拿到数千万元天使轮融资。知乎
就在2026年7月，朗道燧岩完成A轮融资，投资方包括沃衍资本和中芯聚源。中芯聚源是中芯国际旗下的投资平台，而中芯国际是中国大陆最大的晶圆代工厂、EUV光源最直接的潜在用户，产业资本的入局指向的是供应链协同，其信号价值高于融资本身。知乎
15瓦与数百瓦之间："从0到1"的真实含义
样机的分量，更适合用参数来度量。按其官网披露，低功率机型FlintNano LPP-OXXO的驱动激光功率为1000W，转换效率大于2%，EUV能量大于15W，持续工作时间超过100小时。 作为对照，商用EUV光刻系统通常要求光源功率达到数百瓦级别，并能在长时间运行中保持高度可靠——15瓦与数百瓦之间隔着的不是一截参数，而是从"路线可行"到"工业可用"的量级差距，公司更高功率的FlintMicro系列目前也仅完成原理论证。此外还有人在押注另一条路：2026年8月有报道显示，马斯克在芯片制造布局中对自由电子激光（FEL）表达了明显青睐，视其为对成熟商用LPP光源技术的可能替代。光源之争既是补课，也掺着路线之争，对后发者而言，这既是不确定性，也是换道机会。知乎财联社
热潮之后，盯住这三件事
围绕展台的讨论并非一边倒：有人担心没国产的那部分恰恰才是核心中的核心，也有人直接把这台样机定性为融资表演。这些猜测不构成事实结论，但指向一个真实的未解问题：剩下那10%具体卡在哪些环节，展台方并未展开披露。知乎知乎
接下来的观察信号其实很具体：一是FlintMicro高功率系列的功率等级能否从十几瓦向数百瓦爬升；二是连续运行时间能否从百小时验证走向产线级的长期稳定；三是有没有下游晶圆厂愿意把光源真正接入曝光测试。国际先例值得参照——ASML的EUV光源从实验室原理验证到量产交付，经历了二十余年的持续投入。由此看，工博会上给出的"3到5年"更像展台方的乐观预期，而非行业共识。这次亮相的真正意义不在于"打破封锁"，而在于让一道长期被认为"没有入场资格"的题，第一次有了真实的答卷。知乎
