中微创始人尹志尧的刻蚀机人生:60岁“空手”回国创业,82岁仍在给行业泼冷水

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2026年11月9日,中微公司(688012.SH)公告,当天以集中竞价方式首次回购公司股份7.96万股,成交价格区间为247.51元/股至257.00元/股,已支付总金额约1998.56万元。这份回购金额不低于4亿元且不超过5亿元、价格上限433.04元/股、资金来自IPO超募与自有资金、拟用于股权激励或员工持股计划的方案,出自公司董事长尹志尧10月29日的提议。一位82岁的创始人,在半导体板块回调的当口先提议、再看着公司把回购一笔笔买回来,这就是“尹志尧”这几天重新站上热榜的直接原因。东方财富第一财经界面新闻

热榜上的“刻蚀机人生”,说的就是这个人。1944年生于北京,1962年考入中国科学技术大学化学物理系,1980年赴美留学,此后在英特尔、泛林、应用材料干了整整二十年硅谷生涯。2004年,60岁的他回国创办中微;22年后,中微公司市值突破2000亿元,设备进入台积电5纳米、3纳米先进制程供应链,他本人也恢复了中国国籍。这个人的一生只做了一件事——刻蚀机,而82岁的他仍然站在一线。企业顾问网央视财经

60岁回国前,他已是刻蚀技术的顶级推手

中微公司招股书这样记载他的硅谷二十年:1984年至1986年在英特尔从事核心技术开发,1986年至1991年在泛林半导体负责领导若干重点产品的刻蚀技术开发,1991年至2004年在应用材料担任企业副总裁、刻蚀产品事业部总经理、亚洲总部首席技术官,是89项美国专利和200多项海内外专利的主要发明人。劝动这位“硅谷最有成就的华人之一”回国的,有两个人。一位是当时主导上海集成电路产业布局的江上舟,在半导体展会上问他:外国公司用它来卡脖子,我们能不能自己造出来?另一位是张汝京,2003年在美国听完他的计划后直言:只要你做出来,我一定试。知乎企业顾问网芯东西

2004年,上海浦东的办公室里,60岁的尹志尧带着15个人签了一份特殊协议:每个人签字画押,承诺不携带任何技术文件、数据或设计图纸回国,从空白电脑开始做起。他们甚至对竞争对手的3000多个专利做了仔细的规避研究。美国设备公司不相信他能自己做出先进设备,认定是偷了原来的商业机密,官司前后打了4场,尹志尧的说法是赢了2场、打平2场。企业顾问网芯东西

换一条技术路线:被全球抄作业,刻到皮米级

刻蚀是芯片制造的核心工序之一:薄膜机铺材料,光刻机画花纹,刻蚀机把不要的刻掉,这个领域长期被泛林、应用材料、东京电子三家垄断。尹志尧的比方是,在头发丝直径的几千分之一甚至上万分之一的尺度上,盖一栋五六十层的楼房。按他给过的数,一颗5纳米芯片大约要做1000个工艺步骤,刻蚀在其中占大头。企业顾问网知乎

中微的突破口不是做更便宜的替代,而是换一条技术路线:首创甚高频去耦合反应离子刻蚀技术,三年后泛林、应用材料、东京电子全部跟进同一个方向,如今全球CCP类型刻蚀机都采用这条路线。2007年,其双反应台机器两台设备各自的刻蚀速度就只差了0.1个纳米。2015年,中微率先提出“皮米级”加工精度概念;2018年,自主知识产权刻蚀机进入客户5纳米产线。企业顾问网芯东西红星新闻

2026年5月,在央视《对话》节目里,尹志尧确认中微刻蚀设备已实现100pm(皮米级)加工精度。谈到国产设备到了什么水平,他的回答是:我们现在已经有能力来做最先进的设备。芯东西第一财经日报

出货数据说明进度:截至2025年底,中微刻蚀设备反应台全球出货超过6800台,覆盖65纳米至3纳米及更先进制程。到2026年6月底,累计超过8800个反应台在国内外220余条产线量产。其中800多个反应台已进入中国台湾的先进生产线,覆盖45纳米到3纳米节点,中微也由此成为台积电先进制程的刻蚀设备供应商。微博知乎芯东西

2026年,四个动作一套逻辑

先是国籍。中微公司2022年年报中仍明确标注尹志尧为美国公民,2023年年报未披露国籍信息,直到2024年年报正式确认他已恢复中国国籍。2026年1月8日晚的公告写明,因其已从外籍恢复为中国籍、为依法办理相关税务的需要,拟减持不超过29万股,按当时市值约近1亿元。至于为什么回国,他在《对话》里的解释很朴素:祖上三代都是从国外回来报效祖国的。红星新闻

另一个同样被公告披露的数字是,尹志尧直接持有中微股份仅占总股本的0.664%。而在中微内部,员工全员持股,他自述正式雇员里连门口的接待人员和司机都有股票。红星新闻芯东西

然后是产品。10月22日,中微宣布全球首台PrimoDomingo气相高选择性刻蚀设备顺利付运国内重要集成电路研发制造客户,瞄准GAA、3D NAND、3D DRAM等下一代三维器件的关键工艺。从首台付运到大规模量产,中间还隔着工艺调试、良率验证和长时间稳定性考核,这仍是客户信任的积累期。知乎

第三个动作是泼冷水。10月12日下午,在第26届中国国际工业博览会集成电路高峰论坛上,尹志尧发出提醒称AI可能会出现泡沫,半导体行业需警惕资本开支的周期性波动;他判断,现有数百近千家中国设备企业中,最终可能只有几十家能够存活。这份谨慎来自他的履历——四十余年从业经验里,经历过半导体产业的七起七落。橡树财经微博

最后是真金白银。半导体板块11月初回调后,尹志尧10月底提议的回购按程序推进;回购报告书发布前后,中微公司获257家机构扎堆调研,公司称新签订单体量和增速均创历史新高。一边提示周期风险,一边在市场回调时掏钱买自家股票——两套动作出自同一个判断:这门生意的起落,他比多数人都看得清楚。东方财富

82岁之后:五年、十年之约

中微的路径已经写在纸面上。尹志尧计划用五至十年,逐步覆盖半导体高端设备的50%-60%,到2035年让中微进入全球半导体设备第一梯队。产品面上,除刻蚀之外,中微已累计开发出54种高端半导体设备,包括26种刻蚀设备和24种薄膜设备;收购杭州众硅64.69%股权,从预案到过户不到五个月完成,成为科创板首单适用并购重组简易审核程序的案例。这家公司正在从刻蚀单项冠军,变成覆盖刻蚀、薄膜、量检测的平台型设备集团。红星新闻知乎

“集成电路是成千上万人的事业,不是靠几个精英就可以搞起来的。”尹志尧在《对话》里这么说。他自称工程师,喜欢的物理化学已经搞了62年;接班的人选他已经有了,公司还花数年时间写出600页的运营手册,为的是让企业不依赖任何个人。芯东西

60岁那年,他用一份“不带走一张图纸”的协议回答了一个时代;82岁这年,恢复国籍、付运首台新设备、警告泡沫、回购股票。刻蚀机人生走到这里,他做的早已不只是一台台机器——它让中国集成电路产业链在刻蚀这一环,第一次不必再等别人的进度表。

内容由AI生成

精选参考来源

1. 中微公司:11月9日首次回购公司股份7.96万股

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