上海奉贤区MEMS器件光学无尘车间规划与建设

随着科技的飞速发展，微电子制造领域对生产环境的要求越来越高。特别是对于MEMS（微电子机械系统）器件和光学产品的制造，一个微小的颗粒都可能影响到产品的质量和性能，因此，无尘车间的重要性不言而喻。今天我们就以EPC工程（总承包）集成服务商CEIDI西递的项目为例，重点探讨一下MEMS器件光学无尘车间的规划与建设。

在MEMS器件光学无尘车间中，工作人员需要在达到ISO 14644-1标准中的5级或更高级别的环境中进行操作，即每立方米的空气中颗粒物浓度低于或等于35200个（颗粒/m³）。其中包括对MEMS器件的设计、制造、封装和测试等环节。而且车间的空气净化系统需要持续不断地净化空气，以减少微尘和污染物对MEMS器件的影响。

根据重要生产区可以按照以下洁净等级划分：洁净生产区根据材料需要达到百级、千级和万级。无尘生产辅助用房达到万级和十万级。其管理区洁净等级达到十万级或三十万级，包括办公室、会议室、值班室和休息区等。车间生产专用设备区没有空气净化等级要求，但需与净化车间进行有效的物理或空气隔离，主要设施包括净化空调机房、电气用房、纯水间和生产用气间。

其中，洁净车间循环参数主要是按级别阐述房间换气次数：

①十万级净化车间换气次数每小时不能小于15次；

②万级无尘车间换气次数每小时不能小于20次；

③千级无尘室换气次数每小时不能小于50次；

④百级超净室和十级超净棚不以换气次数为标准，以全天花送风的方式送风，全地面回风的方式回风，即增大送风和回风口所占面积的比例，计算净化组合式空调机组的送风量是以送风速度控制在0.3-0.5m/s来进行反向推算。

除此之外，在光学微电子超净无尘车间的装修材料选择上，也需要特别关注。如尘埃颗粒是微电子制造过程中的主要污染物之一，其MEMS器件制造过程中使用的化学物质也可能对某些材料产生腐蚀作用，因此，车间吊顶材料一般采用FFU盲板或防火彩钢板，车间墙体装修材料也要考虑到防火、防尘、防静电等多方面的因素，一般选用防火彩钢板，这种材料不仅具有较好的隔音、隔热性能，而且还可以有效防止静电的产生。

通过合理的装修和设计，可以有效地提高MEMS器件光学无尘车间的洁净度和环境质量，为生产高品质的产品提供有力的保障。EPC工程（总承包）集成服务商CEIDI西递在业界有着卓越的声誉和丰富的经验，做过各类大型无尘车间，可以因项目制宜地出具整体解决方案。